>供應(yīng)>機(jī)械及行業(yè)設(shè)備>清洗、清理設(shè)備>超聲波清洗設(shè)備>南通廠家 部件清洗臺、酸刻蝕2、研磨拋光臺、去膠清洗機(jī) 半導(dǎo)體設(shè)備、太陽能光伏設(shè)備、液晶濕制程設(shè)備、真空設(shè)備等
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產(chǎn)品品牌CSE
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更新日期2015-08-21 16:46
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蘇州華林科納半導(dǎo)體技術(shù)設(shè)備有限公司
聯(lián) 系 人：王翠萍(女士)
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聯(lián)系固話：
聯(lián)系地址：蘇州工業(yè)園區(qū)港田路511號
品牌： |
CSE |
所在地： |
江蘇 蘇州市 |
起訂： |
≥1 臺 |
供貨總量： |
1111 臺 |
有效期至： |
長期有效 |
規(guī)格： |
3000*1500*2000mm |
產(chǎn)品別名： |
半導(dǎo)體硅晶圓顯影定影機(jī) |
用途： |
半導(dǎo)體分立器件的濕法制程刻蝕 |
產(chǎn)品簡介：
本設(shè)備可用于半導(dǎo)體工藝中對各種規(guī)格尺寸硅晶片進(jìn)行顯影和定影，
整臺設(shè)備均采用德國進(jìn)口PP材料，經(jīng)雕刻后組合焊接加工而成。
雙排槽構(gòu)成，每排7槽（根據(jù)工藝確定），各設(shè)一套機(jī)械手，兩排可同時完成相應(yīng)的工序。
每槽裝片能力：50片/批（2花籃，25片/花籃）。
工作區(qū)潔凈度：100級。槽間工藝轉(zhuǎn)換時間：Tm ax≤3.5S，工藝過程為全自動，全程PLC控制，觸摸屏操作。
結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理，外型美觀。適用于微電子半導(dǎo)體行業(yè)，也適合于高校化學(xué)實(shí)驗(yàn)室作實(shí)驗(yàn)濕臺、腐蝕臺。
非標(biāo)規(guī)格，具體規(guī)格依客戶工藝確
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