蘇州華林科納半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)有限公司由中國科學院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所合資成立于2008年3月，投資4500萬元。主要從事半導(dǎo)體設(shè)備、太陽能光伏設(shè)備、液晶濕制程設(shè)備、真空設(shè)備的研發(fā)、技術(shù)推廣和生產(chǎn)銷售。

公司以中科院納米所的研究平臺和技術(shù)團隊為技術(shù)依托，研發(fā)生產(chǎn)中高端半導(dǎo)體設(shè)備。公司以品質(zhì)為根本，以創(chuàng)新為突破點，走設(shè)備研發(fā)與工藝研究相結(jié)合的道路，使設(shè)備能夠滿足和引領(lǐng)最新的工藝。公司的研發(fā)團隊由張寶順博士、王敏銳博士、張永紅博士等十多名在半導(dǎo)體、太陽能光伏及液晶行業(yè)有多年設(shè)備和工藝經(jīng)驗的專業(yè)人士組成。

 

主要產(chǎn)品：顯影機，RCA清洗機，EKC清洗機，外延片清洗機，拋光片清洗機，切片后清洗機，劃片后清洗機，石英鐘罩清洗機，氫氟酸清洗機，石英坩堝清洗機，硅片清洗機，二氧化硅清洗機，硅周清洗機，硅腐蝕機，挖槽機，記號腐蝕機，鋁層腐蝕機，柵氧化清洗機，光刻顯影機，光刻后清洗機，蝕刻機，襯件清洗機，蒸發(fā)前清洗機，部件清洗機，背面腐蝕清洗機，多層金屬腐蝕機，去膠清洗臺，背面處理清洗機，外延片清洗機，金屬化后清洗機，金屬膜刻蝕機，多功能清洗機，硅片腐蝕機，SK1腐蝕機，立式鐘罩清洗機，花籃清洗機，超聲波清洗機，兆聲波清洗機，濕法清洗臺，藍寶石基片清洗機，砷化鉀片清洗機，鍺片清洗機，二流體清洗機，氮氣儲存柜，裝片機，甩干機，IPA干燥機，烘干機，CDS系統(tǒng)，尾氣處理機，硅片鍍金臺，倒片機，單片清洗機，邊緣SiO2剝離機，硅微粉清洗機，液晶濕法清洗機，液晶減薄刻蝕機，玻璃清洗機，ADD電極顯影機，BUS電極顯影機，ITO PR剝膜機，ITO PR顯影機，ITO刻蝕機，RIB PR顯影機，電極再生清洗機，介質(zhì)障壁再生清洗機，熒光體再生清洗機，SM清洗機，PR前清洗機，PI后清洗機，多晶硅料（塊）清洗機，單晶硅料（塊）清洗機，硅料酸洗機，硅芯硅棒清洗機，硅片制絨清洗機，電池片酸洗設(shè)備，去磷硅玻璃清洗機，石英管清洗機，石墨清洗機，石墨煮沸機，石墨件清洗機，白玻璃清洗機，光刻后玻璃清洗機，磨邊后玻璃基板清洗機，PIN薄膜沉積前清洗，HF供酸機，HNO3供酸機，HCL供酸機，手動背面去膠機，LED晶片清洗機，硼擴散清洗機，退火清洗機等。

 

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