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株洲金瑞中高頻設(shè)備有限公司

真空燒結(jié)爐,高溫石墨化爐,碳管爐,碳化爐

普通會員

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株洲金瑞CVD爐

產(chǎn)品價格68000.00元/臺

產(chǎn)品品牌金瑞來

最小起訂≥1 臺

供貨總量100 臺

發(fā)貨期限自買家付款之日起 3 天內(nèi)發(fā)貨

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更新日期2020-03-07 10:00

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商品信息

基本參數(shù)

品牌:

金瑞來

所在地:

湖南 株洲市

起訂:

≥1 臺

供貨總量:

100 臺

有效期至:

長期有效
詳細(xì)說明

化學(xué)氣相沉積爐應(yīng)用領(lǐng)域
化學(xué)氣相沉積爐(沉積炭)可用于以碳?xì)錃怏w(如C3H8等)為碳源的復(fù)合材料的化學(xué)氣相沉積,如C/C復(fù)合材料、SiC復(fù)合材料等的CVD、CVI處理。
化學(xué)氣相沉積爐產(chǎn)品規(guī)格
產(chǎn)品型號/規(guī)格W×H×L(mm)
600*600*1000
800*800*1200
1000*1000*1500
1200*1200*2500
1500*1500*3000
2500*2000*3600
裝載重量(KG)
350
800
1500
2500
5000
10000
最高溫度(℃)
1500
1500
1500
1500
1500
1500
溫度均勻性(℃)
±7.5
±7.5
±7.5
±10
±10
±15
加熱功率(kw)
250
360
480
600
900
1200
極限真空度(Pa)
20
20
20
20
20
20
壓升率(Pa/h)
0.67
0.67
0.67
0.67
0.67
0.67
以上化學(xué)氣相沉積爐參數(shù)可以根據(jù)工藝要求進(jìn)行調(diào)整,不作為驗(yàn)收依據(jù),具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準(zhǔn)。
化學(xué)氣相沉積爐主要配置
u 爐門:絲杠升降//液壓升降/手動升降;手動鎖緊/自動鎖圈鎖緊
u 爐殼:全碳鋼/內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼
u 爐膽:軟碳?xì)?span>/軟石墨氈/硬質(zhì)復(fù)合氈/CFC
u 加熱器:等靜壓石墨/模壓三高石墨/細(xì)顆粒石墨
u 工藝氣路系統(tǒng):體積/質(zhì)量流量計;手動閥/自動閥;進(jìn)口/國產(chǎn)
u 真空泵和真空計---進(jìn)口/國產(chǎn)
u PLC:歐姆龍/西門子
u 控溫儀表:日本島電/英國歐陸
u 熱電偶:C分度號/S分度號/K分度號/N分度號
u 記錄儀:無紙記錄儀/有紙記錄儀;進(jìn)口/國產(chǎn)
u 人機(jī)界面:模擬屏/觸摸屏/工控機(jī)
u 電器元件:正泰/施耐德/西門子
u 料車:滾道式/叉車式/疊加式超長傳輸料車
化學(xué)氣相沉積爐技術(shù)特征
n 本化學(xué)氣相沉積爐最大工作區(qū)尺寸可達(dá)2.5m×2m×4.5m,能滿足超大型工件化學(xué)氣相沉積處理需求;
n 本化學(xué)氣相沉積爐采用多溫區(qū)獨(dú)立控溫,溫度均勻性好;
n 本化學(xué)氣相沉積爐采用特殊結(jié)構(gòu)沉積室,密封效果好,抗污染能力強(qiáng);
n 本化學(xué)氣相沉積爐采用多通道沉積氣路,流場均勻,無沉積死角,沉積效果好;
n 本化學(xué)氣相沉積爐對炭沉積過程中產(chǎn)生的焦油、固體粉塵、有機(jī)氣體等能進(jìn)行有效處理。

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