管式電阻爐

應(yīng)用領(lǐng)域

RGDL系列真空氣氛管式爐廣泛用于高、中、低溫CVD工藝，例如：碳納米管的研制，試驗(yàn)用碳纖維碳化、晶體硅板鍍膜、納米氧化鋅結(jié)構(gòu)可控生長等等，也可用于金屬材料的擴(kuò)散焊接及真空或氣氛保護(hù)下的熱處理。

主要特點(diǎn)

采用精煉石英管或高純剛玉管作為爐膛，可拆卸的密封方式，具有良好的潔凈度和真空度，耐火保溫材料全部采用先進(jìn)的輕質(zhì)纖維制品，整機(jī)質(zhì)量輕、低能耗。加熱元件采用優(yōu)質(zhì)硅鉬棒、硅碳棒或進(jìn)口電阻絲；溫度控制系統(tǒng)采用原裝進(jìn)口智能多段程序溫度控制儀控制，具有良好的穩(wěn)定性、均勻性。

技術(shù)指標(biāo)

設(shè)備型號	RGDL(D) 2/80/44	RGDL(Z) 1/60/30	RGDL(G) 3/60/60	RGDL(D) 1/50/70	RGDL(Z) 2/30/60	RGDL(G) 1/50/80
溫區(qū)個數(shù)	2	1	3	1	2	1
最高溫度	1100℃	1400℃	1650℃	1200℃	1400℃	1650℃
加熱區(qū)長度	440mm	300 mm	600 mm	500 mm	600 mm	500 mm
爐管尺寸及材料	Φ80石英管	Φ60剛玉管	Φ60剛玉管	Φ70石英管	Φ60高純剛玉管	Φ80高純剛玉管
裝機(jī)功率	5kw	8kw	18kw	8kw	10kw	12kw
備注：RGDL系列管式爐全部可以按照客戶要求通入各種惰性、還原性、反應(yīng)性氣體，通過浮子流量計(jì)或質(zhì)量流量計(jì)控制氣體通入量。同時還可以通過單機(jī)機(jī)械泵或真空機(jī)組預(yù)抽真空，系統(tǒng)具備冷態(tài)極限真空6.67×10﹣² Pa 。